2005.08.04

衝破晶圓製造瓶頸的一滴水

藉由水的協助，讓半導體業者得以在不更動現有製造流程的情況下，製造出更小、更快的晶片。

應用漫潤式微影技術，可以在晶園上投射出更微小的電路，但是水裡的微氣泡會使電路的完整性受到破壞。 / IMAGE CREATED BY ASML TWINSCAN M XT: 1150I, COURTESY OF ASML

應用漫潤式微影技術，可以在晶園上投射出更微小的電路，但是水裡的微氣泡會使電路的完整性受到破壞。 / IMAGE CREATED BY ASML TWINSCAN M XT: 1150I, COURTESY OF ASML

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